硅槽刻蚀
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si trench etching 硅槽刻蚀技术
si-trench etching
si-trench蚀刻
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The principle of Si trench etching is introduced, and major press factors to influence etching results are examined.
介绍了硅深槽刻蚀的基本原理和影响对蚀效果的几个主要工艺因素。
youdao
Correct selection of source gases and their compositions is one of the critical factors for si trench etching.
源气体及组分的选择是硅槽刻蚀技术的关键因素。
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