结论 采用空分气离溅射（Separate GIMS）反应离子镀膜技术，实现了工业化生产所要求的恒定参 数长时间稳定（stoichiometry）镀制TiN，所镀膜层完全达到装饰性镀膜的最高标...
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separate gims
单独的姓
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