自对准技术（Self-aligned technology）： 这是制作MOS大规模集成电路的一种重要工艺技术。采用该技术即可减小其中MOSFET的寄生电容，大大提高工作频率和速度。
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silicon gate self-aligned technology [电子] 硅栅自对准工艺
fully self-aligned technology Ni微马达
diffusion self-aligned technology 扩散自对准工艺
equi-planar and self-aligned technology 等平面自对准工艺
self-aligned technology
自对准技术
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HBT self-aligned technology with a perpendicular side-wall mesa has been proposed.
本文提出了一种制作HBT采用的垂直台面结构自对准工艺。
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