软刻蚀 技术(soft lithography)和扫描探针刻蚀技术(scanning probe lithography),其中着重描述了
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奈米加工及奈米材料的操控方面: 利用扫描探针显微术之微影法(scanning probe lithography)及配合适当的湿式或干式 ..
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扫描探针微影(Scanning Probe Lithography)是使用探针于 基材或阻剂表面,作近接式或接触式作用。
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誊熬疆爨静蕤镰(Scanning Probe Lithography,SPL) 墨一释获上戮下酶方法楚露建耱舞蘩搽蛰鬟镦镱。遮蛰接拳嚣电子泶刻蚀一榉,同样面临潜力n工速度的困难...
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