安全仪表系统包括安全连锁系统(Safety Interlocks)，紧急停车系统，安全关联系统(Safety Related System)，安全停车系统(Safety Shutdown System)，事故停车系统(Emergency and Pr...
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安全联锁（Safety Interlocks） 当SI0=ON时，强制输出到状态0。 旁路（Bypass） 旁路允许联锁与强制联锁，使操作员依然可以改变状态，但不能旁路安全联锁。
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... Recipe Driven, Password Protected 菜单驱动，4级密码访问保护 Safety Interlocks 完整的安全联锁 Sputter Down/Up 向下/向上溅射 ...
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Provision of Safety Interlocks 提供安全内断开关
Safety Interlocks System 安全联锁系统
Safety Interlocks Violated 违反安全连锁
Safety y interlocks 完整的安全联锁
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