sacrificial layer material
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牺牲层材料
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参考来源 - 一种新型集成电路铜互连方法的研究
·2,447,543篇论文数据，部分数据来源于NoteExpress
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Instead of surface sacrificial layer and bulk micromachining technique, using polymer as thermal isolation material decreases cost and improves yield.
以聚合物材料作为绝热材料，避免了表面牺牲层工艺和体加工技术，降低了成本、提高了成品率。
youdao
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