1．2．4射频大气压放电 常压射频辉光放电（RF APGD）是指电源的激发频率在兆赫兹以上，放电产生的离 子、电子及其他激发态粒子被限制在一种存在与两个电极之f白J的高频放电形式。
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rf apgd
射频apgd
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