...iO2粉体的制备方法有多种,由于高频等离子体具有无电极污染、连续高温流动和急骤冷却等特点,高频等离子体化学气相沉积法(RF-PCVD)作为气相法的一种,可制备出超纯、单分散性好、球状的纳米TiO2粒子,且具有多功能性、工艺可控性和过程连续性等优点[2].
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rf pcvd 射频辉光化学气相沉积
rf pcvd rig rfpcvd装置
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