(6) 光罩卂考标志(reticle reference mark)位在光罩X-Y 帄台上,X 方向、 Y 方向各一组,瑝光罩进入X-Y 帄台叙,系统会冺用iA 侦检器来进 行对准(光罩上Fine Reticle Alig...
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reticle reference mark
标线参考标记
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