反射衍射光栅 reflecting diffraction grating; reflection diffraction grating 复制衍射光栅 replica grating .
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reflecting diffraction grating
反射衍射光栅
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A reflecting hologram diffraction grating was fixed to the stage to form a closed loop displacement measuring system.
固定在工作台上的全息衍射光栅实现了对工作台位移的高精度闭环检测。
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