rapid precision positioning
rapid precision positioning
快速精确定位
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This paper studies the work principle and structure of the rapid precision positioning system of 3D precision stage′s control system, and analyzes the system by theoretical and experimental methods.
对三维精密工作台快速定位系统的控制原理及结构组成进行了研究，并对系统进行理论和实验分析。
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