radio-frequency sputtering system
在本研究中成功地利用 射频磁控溅镀系统 ( radio-frequency sputtering system )成长出与基板垂直的奈米碳片(carbon nanoflakes)，与以往CVD系统成长奈米碳片做比较，本实验所使用的功率以及温度较低(400 ℃, ...
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radio-frequency sputtering system
射频溅射系统
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The influence of rotation speed and pendulum amplitude on the thickness uniformity of film deposited by radio frequency magnetron sputtering system with rotation and pendulum was researched.
研究了基片摆动和基片自转的磁控溅射系统中基片摆动角振幅和基片自转角速度对磁控溅射膜厚均匀性的影响。
youdao
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