...间且用以调整该探针组的准直片，其中该探针包含一应力缓冲部分，而该介片与准直片具有用以容纳探针的探阵列组(probe-hole array)，该探阵列组的探间距与具有不同接触垫位置分布(pad location)但具有相同接触垫间距(pad pitch)的受测晶圆或元件上的接触垫间距相...
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probe-hole array
探孔阵列
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