频率输出精度（Precision of output frequency）：50Hz±3Hz 过载能力（Overload ability）：120%，30 seconds
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The interpolation precision is correlated with Max feed rate pulse equivalent of CNC cyc of interpolation and output impulse frequency of pulse generator.
其插补精度与最大进给速度、机床系统的脉冲当量、插补周期，以及脉冲发生器的输出脉冲频率有关。
Miniature silicon resonant pressure sensor based on MEMS, which has the highest precision for frequency output, measures pressure by detecting the natural frequency of some object.
基于MEMS技术的硅微谐振式压力传感器是目前精度最高的硅微压力传感器，它通过检测物体的固有频率间接测量压力，为准数字信号输出。
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