polymer substrate materials
polymer substrate materials
聚合物基板材料
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Some polymer materials are used as substrate. Kinds of new microfabrication technology are presented, including lithography, soft etching, LIGA, DEM and bonding, etc.
系统介绍了芯片实验室的各种制备技术，这些技术包括紫外光刻、软刻蚀、LIGA技术、DEM技术、键合等。
youdao
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