自组装技术 物理气相沉积技术 物理气相沉积(Physical Vapour Deposion, PVD)方法 作为一类常规的薄膜制备手段被广泛的应用于纳米薄膜 的制备,包括蒸镀、电子束蒸镀、溅射等。
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physical vapour deposion
物理气相沉积
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