替代品-电子工程专辑 宣布开发出环保无氟PAG 性能不打折 IBM宣布开发出一种无氟(fluorine-free)的193奈米微影制程用光酸产生剂(photo-acid generator，PAG)；这种化学品将会是目前正在使用的全氟辛烷磺酸盐(Perfluorooctane sulfonate，
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替代品-电子工程专辑 宣布开发出环保无氟PAG 性能不打折 IBM宣布开发出一种无氟(fluorine-free)的193奈米微影制程用光酸产生剂(photo-acid generator，PAG)；这种化学品将会是目前正在使用的全氟辛烷磺酸盐(Perfluorooctane sulfonate，
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替代品-电子工程专辑 宣布开发出环保无氟PAG 性能不打折 IBM宣布开发出一种无氟(fluorine-free)的193奈米微影制程用光酸产生剂(photo-acid generator，PAG)；这种化学品将会是目前正在使用的全氟辛烷磺酸盐(Perfluorooctane sulfonate，
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化学品-电子工程专辑 宣布开发出环保无氟PAG 性能不打折 IBM宣布开发出一种无氟(fluorine-free)的193奈米微影制程用光酸产生剂(photo-acid generator，PAG)；这种化学品将会是目前正在使用的全氟辛烷磺酸盐(Perfluorooctane sulfonate，
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The imaging system was set up with acid sensitive phenolic resin,cross-linking agent(w/w % 3:1) and photoacid generator.
酸敏树脂和交联剂按质量比3:1的比例与光生酸剂构筑了相匹配的光生酸成像体系。
参考来源 - 光生酸剂在高分子膜中产酸性能评价及应用·2,447,543篇论文数据，部分数据来源于NoteExpress
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