相移干涉术
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phase-stepping interferometry 移相干涉技术
phase-stepping microscopic interferometry 相移显微干涉术
phase stepping interferometry
相位步进干涉测量法
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In this paper a new method of phase-stepping by changing the temperature of Laser Diode (LD) in phase Shifting Interferometry (PSI) has been presented.
提出利用改变半导体激光器温度来改变波长，在相移干涉仪中实现步进相移计量的新方法。
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