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phase shift mask

  • 相移掩模：一种用于光刻过程中改善图案分辨率和过程窗口的掩模技术，通过在掩模上引入相位延迟来实现。

网络释义

  相移掩模

相移掩模

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短语

Alternating Phase Shift Masks 交互相移掩模 ; 相互相移掩模技术

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