有的化学机械研磨设备中还有一种叫做钻石轮（pad conditioning disk）的辅助构件，它在研磨过程中负责修整研磨垫，使研磨垫保持一定的粗糙表面，以防止研磨效率降低；它还负责清除研磨垫表面的研磨残...
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pad conditioning disk
垫式调理盘
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