【正文快照】： 1引言多晶硅薄膜晶体管(p-Si TFT)在有源LCD和有源OLED中都有重要应用。
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采用NH3和N2O的等离子体分别对p-Si（多晶硅）薄膜表面进行了钝化处理，处理后的 p-Si TFT（薄膜晶体管）具有比未处理 TFT更优越的性能，通电试验与热应力试验后，处理后的器件呈现出更好的承受电负荷和热应力能力，钝化的微观机理是NH...
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多晶硅（P-SI TFT），大多为LED背光，宽视角宽温度，分辨率可达1024*768，高亮度可达900。主要尺寸
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