... aligner feeder 整列进料机 Wafer Aligner 真空密着曝光 optical aligner 光学对准器 ; 光对准曝光器 ...
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The specific parameters of main optical system are deduced from the requirement of pattern transfer for the projection aligner. The limit of these parameters is discussed.
本文从投影光刻机的图形传递要求出发，导出投影光刻机各主要光学系统的具体要求，并讨论这些参数确定的局限性。
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