电子束技术之基本原理与应用 - docin.com豆丁网 值的方法除了对设备本 电子束技术之基本原理与应用 - 7 - 身的设计进行改良外，例如可调式NA 、偏轴照光(off-axis illumination, OAI) 技术， 各项解析度增强技术(resolution enhancementtechnology, R
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off-axis illumination 离轴光照
oblique off-axis illumination 离轴倾斜照明
off axis illumination
离轴照明
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