【Key words】 Si-based thin film； nano-structure； O and N impurity； photoluminescence；
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o and n impurity level 氧和氮掺杂
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The experimental results showed that interstitial elements such as c, s, n, o and other impurity elements have great influences on ductility and toughness of maraging steels.
研究结果表明，间隙元素C、S、N、O与其它杂质元素对马氏体时效钢的韧性与塑性的影响很大。
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