NF3等离子体处理
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nf3 plasma treatment
Nf3等离子体处理
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Adecomposition of silane and NF3 by low pressure plasma and waste as treatment by non-thermal discharge plasma are discussed.
用低压等离子体分解硅烷和NF 3以及用放电等离子体处理汽车等的排入废气。
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