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model-based optical proximity correction

网络释义

  基于模型的光学邻近校正技术

基于模型的光学邻近校正技术(Model-Based Optical Proximity Correction, MBOPC)作为应用最为广泛的分辨率增强技术之一,已成为亚波长光刻生产过程中所必须的步骤。

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model-based optical proximity correction

基于模型的光学接近校正

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