...类和性能指标6.2.1 传感器分类法6.2.2 传感器性能的指标6.3 几种典型的微型传感器6.3.1 微型压力传感器(Micro Pressure Sensors)6.3.2 微型加速度计(Micro Accelerometer)6.3.3 微型陀螺(Micro Gyroscope)6.3.4 微型触觉传感器(Micro Tactile Sensors)6.3.5 微...
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In view oi the problems existing in the silicon micro pressure sensors, this paper proposes the chemical etching techniques and the selective etching processes to control diaphragm thickness.
并针对硅微压传感元件研制中存在的问题，提出采用化学腐蚀技术，选择性腐蚀工艺控制膜厚。
Results of the research and experiments in this paper are beneficial to deign and fabrication of micro pressure sensors. The micro machining technology can also be used for other MEMS products.
论文的相关研究和实验结果对于微压力传感器的设计、制作具有一定的参考价值，微加工工艺的相关研究结论也可以应用在其它微机电器件的制作上。
Micro gas pressure sensors are widely used in the fields of chemical industry, spaceflight, foodstuff processing, semi-conductor processing, electronic encapsulation and scientific researches.
微气压传感器广泛应用于化工、航天、食品加工、半导体加工、电子封装以及科学研究等领域。
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