...调节定位；微调工作台；测量仪器；定位工作台。 [gap=1174]Key words: 4D Micro motion; poisoning control; Micro motion stage; Measuring instrument; location stage.
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Parallel Micro-Motion Stage 并联微动台
micro motion stage
微动舞台
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Due to space limit, the motion equations are often coupled when the micro positioning stage has multiple links and freedoms. Thus, synthesis and decouple are necessary.
当微定位台的结构是多环、多自由度时，由于空间的限制，通常其运动方程是耦合的，需对它进行综合分析和解耦。
youdao
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