中国最大的综合性文献数据库 -维普资讯 关键词: Z箍缩 丝阵负载 微型装配 微力传感器[gap=1103]Key words: Z-pinch; wire array; micro assembly; micro force sensor
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MEMS micro force sensor MEMS微力传感器
piezoresistive micro force sensor 压阻式微力传感器
tri-axial micro-force sensor 三维微力传感器
force micro-sensor 压力微传感器
3-D micro-tactile force sensor 三维微触觉力传感器
The automatic assembly system consists of a micro force sensor integrated micromanipulator, a bonding centre with three working cells, and a microscopic vision module.
在此基础上确定了自动组装系统的组成结构，并详细介绍了研制的具有力感知功能的微操作手、三工位键合炉以及显微视觉等关键技术模块。
A new micro constant force displacement sensor with micro and constant measurement force is introduced. It can realize the measurement of bullet marks without damage on the surface of sample bullets.
该系统采用了一种新型的微恒力位移传感器，该传感器具有测量力小且恒定的特点，因此，可以实现对弹头表面痕迹的无损测量。
The specific structure capacitive force micro-sensor is introduced. The principle and survey circuit demonstrated are demonstrated and analyzed.
介绍了一种经特殊工艺处理的电容式压力微传感器，分析和论证了其结构设计、工作原理和测量电路。
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