micro electro mechanical systems switch
Microsoft Word - 13-李林翠.doc 关键词 ： 微电子机械系统开关；直流供电线；接地过孔 [gap=817]Key words： micro electro mechanical systems switch；DC -line；via
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micro electro mechanical systems switch
微机电系统开关
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This paper presents theoretical analysis for the effect of air squeeze film damping on a micro-opto- electro -mechanical systems (MOEMS) optical switch with a slant lower electrode.
从基于微机械光电系统（MOEMS）的倾斜下电极扭臂式光开关出发， 求解雷诺方程， 得到空气压膜阻尼系数和阻尼力矩的分析公式。
youdao
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