7.6.1 金属过刻(Metal Over-Etching) 67-68 7.6.2 金属侵蚀(Metal Erosion) 68-69
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metal over-etching
金属over-etching
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The third stage etching in current method is a time-fixed etching, which easily causes under etching or over etching of the metal layer.
现有的刻蚀形成金属线时的第三阶段刻蚀采用了固定时间的刻蚀，极易造成金属层刻蚀不足或过刻蚀的问题。
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