...金属诱导横向结晶多晶硅TFT直流应力下的退化研究 本文主要研究了p型金属诱导横向结晶(Metal Induced lateral Crystallization, MILC)多晶硅薄膜晶体管(Thin Film Transistor, TFT)在各种直流应力下的退化行为和机...
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In this paper, the effect of annealing temperature and time on the rate of metal-induced lateral crystallization (m ILC) of amorphous silicon are investigated in detail.
详细研究了金属诱导非晶硅横向晶化时间、温度对晶化生长的影响。
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