最大直流功率（Max Power DC） 最大射频功率（Max Power RF） 最大靶面电压（Max Voltage） 最大靶面电流（Max Current） 射频离子源（RF ion source） 极限真空 （Ultimate Pressure） 均匀...
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Max RF Power 最大射频输出功率
Max RF Power Output 最大射频输出功率
max power rf
最大功率射频
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