目前半导体集成电路行业常用的模式为:新风机组(Make-up Air Unit,简称MAU)+循环风机(Recycled Air Handling Unit,简称RCU)+高效过滤器(High Efficiency Particulate Air Filter,简称HEPA)。
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MAKE UP AIR UNIT 外气空调箱 ; 连设一外气空调箱
Make-up Air Unit Fan 外气空调箱风车
MAU Make-up Air Unit 外气空调箱
Make-up air handling unit 新风机组
air make-up unit 补充空气设备
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