...气相磊晶、 分子束磊晶及利用化学气相沉积法之金属有机物化学气相沉积; 光感测元件部分则有低压化学气相沉积(Low Pressure CVD, LPCVD)、常压化学气相沉积(Atmospheric Pressuer CVD, APCVD) 等方式磊晶;因...
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HWCVD)和低气压法(Low Pressure CVD,L PCVD)等等。 同时, 人们对液相外延法(Liquid Phase Epitaxy, 多晶硅薄膜材料的制备及...
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