...MEM演算法计算回复的相位影像 五、相位回复实验结果 第一个应用实例为目前半导体业界在较先进的 铜制程里所使用的低介电材料(low k material)，为了降 低材料的介电系数而采用多孔隙的结构，平均孔径的 大小在数十奈米左右，在制程当中有必要了解孔洞的 直径尺寸与材料介电...
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low-k material 低k材料
low-k dielectric material 材料
low k material
低k材料
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