2.1.1 ESD注入工序(ESD Implantation) 在电微米工电中,引电了漏端电电电工序(Low Do-ping Drain)电电 1(a),电步工序在源端和漏端 电 重 的地方生成一 电电电电度的 电,可以降低漏端在 道中的电电强度分布,电 而克服 与 极叠...
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low do-ping drain
低干平漏
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