工业级的真空系统多半附有一个副真空 装卸腔,一般命名为“负荷固定舱”或“预真空锁”(Load Lock),它的作用是将被镀物先行载入后做预抽“低真空 度”的动作,例如使用机械泵抽至10 -3 Torr,再打开主要工 作腔与负荷固定舱之间...
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装载互锁式(Load Locked)感应耦合等离子(ICP)系统 产品介绍:IL装载互锁式(Load Lock)感应耦合等离子(ICP)处理系统、感应耦合等离子(ICP)蚀刻/沉...
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load-lock chamber 加载互锁真空室
Load Lock Chamber 真空交换舱 ; 负荷固定舱
load lock valve 靶盘腔装片阀
load-lock 装填闭锁
Lock and Load 重新装弹 ; 荷枪实弹
Lock 'n Load 火焰战士
Blaze Lock N Load 2 火焰战士
Load and Lock 装绳上锁
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