...连接到所述转移腔室的至少一个处理腔室；在所述转移腔室的至少一侧连接到所述转移腔室的至少一个装载固定腔室(load-lockchamber)；和一转移腔室自动机械，其在所述转移腔室中沿所述纵向移动并转移一基板。
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