...值)≥下限设定值 （HI Limit）-（+HI 波纹脉动）≥LO Limit ◇（下限设定值）-(+下限波纹脉动设定值)≥下下限设定值 （LO Limit）-（+LO 波纹脉动）≥LL Limit 各设定值务必满足设定条件。 不满足设定条件时会出现Error，并需要重新设置。
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Lo-Limit 下限
Horz Lo Limit 水平下限
Stop lo limit 止蚀限额
Lo Frequency Limit 频率下限
lo limit
lo限制
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