lithography eletroforming micro molding
...摘要 本发明提供一种生长碳纳米管的方法，包括下列步骤：采用X光深刻电铸模造(LIGA，Lithography Eletroforming Micro Molding)制程形成一表面具有微孔结构的基底；采用化学气相沉积法在基底表面生长与其基本垂直的碳纳米管。
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...摘要 本发明提供一种生长碳纳米管的方法，包括下列步骤：采用X光深刻电铸模造(LIGA，Lithography Eletroforming Micro Molding)制程形成一表面具有微孔结构的基底；采用化学气相沉积法在基底表面生长与其基本垂直的碳纳米管。
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lithography eletroforming micro molding
光刻电铸微成型
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