lithography compliance checking
Toshiba标准布局流程采用Synopsys良率分析工具 软体，这是该公司最新且功能完备的设计良率分析工具，能够在设计初期就针对制造的相关问题进行自动化修正。而这项新产品中的微影规则检查(lithography compliance-checking，LCC)模组可以与Synopsys另一产品IC Compiler搭配使用，为65奈米或更小尺寸的晶片设计遇到
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lithography compliance checking
光刻一致性检查
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