... large area pattern 大面积图案 Pattern Area 式区 ; 模式区 ; 花纹面积 reference pattern area 参考井网面积 ...
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large e area pattern 大面积图案
Large area fine pattern 大面积精细图形光刻
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Nanoimprint lithography becomes a hot focus of novel lithography technologies of next generation due to its advantages of low cost, high yield and fidelity of large area pattern transfer.
纳米压印光刻技术具有效率高、失真率低、易于实现大面积图形转移等特点，成为下一代光刻技术的研究热点。
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