... 里有很多的电洞） 上光阻、曝光、显影(微影制程) 利用闸&光阻的阻挡用离子布植机，使其产生S/D 通道 离子布植机(ION IMPLANTER): 离子植入法是利用施加高电压，使各离子化的元素产生碰撞，进而产生物理性的 取代。
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high energy ion implanter 高能量离子值入机
low energy ion implanter 低能量离子注入机
high current ion implanter 大电流离子值入机 ; 高碳钢
medium energy ion implanter 中能量离子注入机
medium current ion implanter 中电流离子注入机
PRODUCTION ION IMPLANTER 离子注入机
ion implanter- 离子注入机
large tilt ion implanter 大角度离子注入机
large beam ion implanter 大束流离子注入
The invention relates to a wafer clamp for an ion implanter which belongs to the field of semiconductor equipment manufacture.
本发明涉及一种离子注入机用的晶片夹，属于半导体装备制造领域。
Introduced the configuration of typical ion implanter, analyzed the importance of the implantation mechanical scanning technology.
简单介绍了典型离子注入机的组成，分析了离子注入机中扫描技术的重要性。
Vertical scanner is the supporting part of a series process ion implanter, which transfer high speed movement from outside of the chamber to the target inside.
垂直扫描机构是单晶片离子注入机靶盘的支撑部件，起着将高速直线运动从靶室外传递到靶盘的作用。
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