现阶段的研究中，吾人主要研究且证明沈积速 率与电浆中离子轰击能量(Ion Bombardment Energy, IBE)在 氧化锌薄膜成长过程中系具有相互间之重要关系。
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low-energy ion bombardment 低能离子轰击
low-energy ion beams bombardment 低能离子束轰击
ion bombardment energy
离子轰击能
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