...项目任务的基础上,依靠山大晶体材料、半导体激光和耦合技术上的优势,研制了一台高稳定性5W 355nm紫外激光加工系统(ICM-UV-I)。该系统已成功用于宽带隙半导体材料SiC打标和LED晶片大面积表面粗化和刻蚀。
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