离子束配向法(DLC/Ion Beam Alignment): 利用 电浆束辅助化学沉积法沈积氢化非晶相碳 (hydrated amorphous carbon)薄膜进行离子束 配向,基板倾斜45 度角放置以期有特异方向 性与减少预倾角扭转现象。4.
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hydrated amorphous carbon
水合非晶碳
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