剂量控制板固件负责控制DSP 子系 统的所有硬件资源，并通过高性能剂量控制（HPDC, High Performance Dose Control） 算法完成对光剂量的控制，使投射到硅片表面的激光束的剂量符合光刻的要求。
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high performance dose control
高性能剂量控制
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