radio frequency glow discharge source 射频辉光放电等离子体激发源
High-voltage glow-discharge ion source [分化] 高压辉光放电离子源
Glow discharge ion source 辉光放电离子源
This paper reviews the latest progress of glow discharge source.
本文评述了辉光放电光源的一些进展情况。
In AC electrical field, the stable homogeneous glow discharge will appear by using dielectric barrier layer and high-frequency power source.
在交流电场中，利用介质阻挡层和高频激励源，可获得稳定均匀的大气压下辉光放电。
In this paper, a glow discharge plasma source ion implantation technique is described.
本文叙述了辉光放电等离子体源的等离子体源离子注入。
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