除了保留传统Poly SiON闸极堆叠(gate stack)的成本优势及使用专利制程技术外，联电的28HLP制程技术可提供其他28奈米HLP Poly SiON产品所不及的高成本效益以及效能和功耗的臻...
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均采用高介电率（high-k）栅极绝缘膜/金属栅极技术，沿用了原有的称为Gate First方式的的栅层叠（Gate Stack）形成工序。
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... 大男人 » Big man 门垛 » Gate stacks 什么时候去意大利 » When to go Italy ...
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...M 器件的晶圆制造工艺中，栅极是由四层所组成 的(Poly+WSi+SiON+SiN)，图三十给出了各层的厚度，它们统称为栅极堆栈(Gate Stack)。图 三十一给出了栅极形成后的俯视图，横向亮白的区域为活性区(AA)，纵向黑色的为栅极。
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